簡(jiǎn)要描述:布魯克Bruker隧穿磁比率測量?jì)xSmartProber-P1——用于企業(yè)研發(fā)和故障分析中 300mm 晶圓應用的電動(dòng)系統
產(chǎn)品目錄
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品牌 | Bruker/布魯克 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 |
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應用領(lǐng)域 | 電子,綜合 |
布魯克Bruker隧穿磁比率測量?jì)xSmartProber-P1
——用于企業(yè)研發(fā)和故障分析中 300mm 晶圓應用的電動(dòng)系統
·高垂直面
磁場(chǎng)
·可配置
設計和選項
·全晶圓覆蓋
高達 300 毫米
·0.1-100 kΩμm2
RA 范圍
這種類(lèi)型的 SmartProber 有多種配置可供選擇。如果需要高垂直場(chǎng),但只需要測量小樣品,則可以用更便宜的手動(dòng)載物臺代替自動(dòng)晶圓載物臺。
SP-P1 – 6kOe 磁體,300mm 旋轉晶圓臺
配置選項:
C:附加場(chǎng)強為 2kOe 的面內磁體模塊
Y:200mm XY 晶圓臺
M:用于小樣品的手動(dòng)晶圓臺
L:10kOe 磁體
布魯克Bruker隧穿磁比率測量?jì)xSmartProber-P1
布魯克Bruker隧穿磁比率測量?jì)xSmartProber-P1
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